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电池术语
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术语内容
平边
晶圆片圆周上的一个小平面,作为晶向定位的依据。
质量保证区(FQA)
晶圆片表面中央的大部分。
蚀刻
通过化学反应或物理方法去除晶圆片的多余物质。
边缘轮廓
通过化学或机械方法连接起来的两个晶圆片边缘。
名义上边缘排除(EE)
质量保证区和晶圆片外围之间的距离。

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