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电池术语
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术语内容
平边
晶圆片圆周上的一个小平面,作为晶向定位的依据。
质量保证区(FQA)
晶圆片表面中央的大部分。
蚀刻
通过化学反应或物理方法去除晶圆片的多余物质。
边缘轮廓
通过化学或机械方法连接起来的两个晶圆片边缘。
名义上边缘排除(EE)
质量保证区和晶圆片外围之间的距离。
边缘排除区域
位于质量保证区和晶圆片外围之间的区域。(根据晶圆片的尺寸不同而有所不同。)
芯片边缘和缩进
晶片中不完整的边缘部分超过0.25毫米。
掺杂
把搀杂剂掺入半导体,通常通过扩散或离子注入工艺实现。
搀杂剂
可以为传导过程提供电子或空穴的元素,此元素可以改变传导特性。晶圆片搀杂剂可以在元素周期表的III 和 V族元素中发现。

施主
可提供“自由”电子的搀杂物,使晶圆片呈现为N型。
表面起伏
在合适的光线下通过肉眼可以发现的晶圆片表面凹陷。
耗尽层
晶圆片上的电场区域,此区域排除载流子。
晶体缺陷
部分晶体包含的、会影响电路性能的空隙和层错。
沾污颗粒
晶圆片表面上的颗粒。
导电类型
晶圆片中载流子的类型,N型和P型。